Субстрат MgF2
опис
MgF2 використовується як лінза, призма та вікно для довжини хвилі від 110 нм до 7,5 мкм.Це найбільш підходящий матеріал як вікно для ексимерного лазера ArF через його хорошу пропускну здатність при 193 нм.Він також ефективний як оптичний поляризатор в ультрафіолетовій області.
Властивості
| Щільність (г/см3） | 3.18 |
| Точка плавлення (℃) | 1255 |
| Теплопровідність | 0,3 Вт·м-1K-1 при 300K |
| Теплове розширення | 13,7 x 10-6 /℃ паралельно осі c 8,9 x 10-6 /℃ перпендикулярно осі c |
| Твердість по Кнупу | 415 з індентором 100 г (кг/мм2) |
| Питома теплоємність | 1003 Дж/(кг·к) |
| Діелектрична проникність | 1,87 при 1 МГц паралельно осі с 1,45 на 1 МГц перпендикулярно осі c |
| Модуль Юнга (E) | 138,5 ГПа |
| Модуль зсуву (G) | 54,66 ГПа |
| Об'ємний модуль (K) | 101,32 ГПа |
| Коефіцієнт пружності | C11=164;C12=53;С44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Уявна межа пружності | 49,6 МПа (7200 psi) |
| Коефіцієнт Пуассона | 0,276 |
Визначення субстрату MgF2
Підкладка MgF2 відноситься до підкладки, виготовленої з кристалічного матеріалу фториду магнію (MgF2).MgF2 — це неорганічна сполука, що складається з елементів магнію (Mg) і фтору (F).
Підкладки MgF2 мають кілька помітних властивостей, які роблять їх популярними в різних сферах застосування, особливо в області оптики та осадження тонких плівок:
1. Висока прозорість: MgF2 має чудову прозорість в ультрафіолетовій (УФ), видимій та інфрачервоній (ІЧ) областях електромагнітного спектру.Він має широкий діапазон пропускання від ультрафіолетового випромінювання приблизно 115 нм до інфрачервоного випромінювання приблизно 7500 нм.
2. Низький показник заломлення: MgF2 має відносно низький показник заломлення, що робить його ідеальним матеріалом для покриттів AR та оптики, оскільки він мінімізує небажані відбиття та покращує пропускання світла.
3. Низьке поглинання: MgF2 демонструє низьке поглинання в ультрафіолетовій та видимій областях спектру.Ця властивість робить його корисним у додатках, що вимагають високої оптичної чіткості, таких як лінзи, призми та вікна для ультрафіолетових або видимих променів.
4. Хімічна стабільність: MgF2 є хімічно стабільним, стійким до широкого спектру хімічних речовин і зберігає свої оптичні та фізичні властивості в широкому діапазоні умов навколишнього середовища.
5. Термічна стабільність: MgF2 має високу температуру плавлення і може витримувати високі робочі температури без значного погіршення якості.
Підкладки MgF2 зазвичай використовуються в оптичних покриттях, процесах осадження тонкої плівки та оптичних вікнах або лінзах у різних пристроях і системах.Вони також можуть служити буферними шарами або шаблонами для росту інших тонких плівок, таких як напівпровідникові матеріали або металеві покриття.
Ці підкладки зазвичай виготовляють за допомогою таких методів, як осадження з парової фази або фізичні методи транспортування пари, де матеріал MgF2 осаджують на відповідний матеріал підкладки або вирощують як монокристал.Залежно від вимог застосування підкладки можуть бути у формі пластин, пластин або нестандартних форм.
