Підкладка SrTiO3
опис
Монокристал SrTiO3 має хорошу структуру решітки перовскітного структурного матеріалу.Це чудовий матеріал підкладки для епітаксії ВТСП і більшості оксидних плівок.Він широко використовувався в дослідженнях високотемпературних надпровідних тонких плівок.Він також широко використовується в спеціальних оптичних вікнах і високоякісних мішенях для розпилення.
Властивості
Орієнтація: (100) +/-0,5 град
Індикація орієнтації краю: <001> +/-2 градуси доступна як опція за додаткову плату
Полірування: одна сторона EPI відшліфована за технологією CMP із меншим пошкодженням підповерхневої решітки.
Упаковка: упакована в поліетиленовий пакет класу 100 під чисту кімнату класу 1000.
| Кристалічна структура | Кубічний, a=3,905 А |
| Метод зростання | Вернуїль |
| Щільність (г/см3） | 5,175 |
| Точка плавлення（℃） | 2080 рік |
| Твердість (Mho) | 6 |
| Теплове розширення | 10,4 (х10-6/ ℃) |
| Діелектрична проникність | ~ 300 |
| Тангенс втрат на 10 ГГц | ~5х10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| Колір і зовнішній вигляд | Прозорий (іноді злегка коричневий в залежності від умов відпалу). Немає двійників |
| Хімічна стабільність | Нерозчинний у воді |
Визначення субстрату SrTiO3
Підкладка SrTiO3 відноситься до кристалічної підкладки, виготовленої зі сполуки титанату стронцію (SrTiO3).SrTiO3 — це перовскітний матеріал із кубічною кристалічною структурою, який характеризується високою діелектричною проникністю, високою термічною стабільністю та хорошим узгодженням гратки з багатьма іншими матеріалами.
Підкладки SrTiO3 широко використовуються в областях осадження тонких плівок та епітаксійного росту.Кубічна структура SrTiO3 дозволяє вирощувати високоякісні тонкі плівки з чудовою кристалічною якістю та низькою щільністю дефектів.Це робить підкладки SrTiO3 дуже придатними для вирощування епітаксіальних плівок і гетероструктур для різних застосувань.
Висока діелектрична проникність SrTiO3 робить його придатним для таких застосувань, як конденсатори, пристрої пам’яті та сегнетоелектричні тонкі плівки.Його термічна стабільність робить його придатним для застосування при високих температурах.
Крім того, різноманітні властивості SrTiO3, такі як його металева провідність при низьких температурах і можливість індукції надпровідного стану, роблять його корисним для досліджень фізики конденсованого середовища та розробки електронних і оптоелектронних пристроїв.
Таким чином, підкладки SrTiO3 — це кристалічні підкладки, виготовлені з титанату стронцію, які зазвичай використовуються для осадження тонких плівок, епітаксійного росту та широкого спектру електронних та оптоелектронних застосувань завдяки їх високій діелектричній проникності, термічній стабільності та хорошим властивостям узгодження решітки.
